联讯仪器“一种晶圆测验夹具”专利获授权

  姑苏联讯仪器股份有限公司研宣布一种轻量化晶圆测验夹具，经过在结构板上设置距离的榜首减重槽和加强筋，有用减轻分量一起确保结构强度，进步测验功率。

  天眼查显现，姑苏联讯仪器股份有限公司近来获得一项名为“一种晶圆测验夹具”的专利，授权公告号为CN221405765U，授权公告日为2024年7月23日，申请日为2023年10月31日。

  现有技能中，在晶圆完结制作后需要对晶圆来测验，所以要规划测验夹具对晶圆来测验，正常的情况下，测验夹具包括许多零部件，例如，PCB板、热沉和探针等结构，所以会导致测验夹具分量较重，不利于测验人员转移，不利于测验，影响测验功率。若直接在部分结构件上设置一个减重孔，或许会在下降该结构件分量的一起导致其强度下降，影响结构件的稳定性。

  本实用新型供给了一种晶圆测验夹具，触及晶圆测验技能领域。本实用新型中结构板限制有装置孔，PCB板设置在结构板的下方，且与结构板衔接，上保压盖设置在装置孔内，且坐落PCB板的上方，上保压盖与结构板和PCB板均相连，热沉结构设置在PCB板的下方，且与PCB板和上保压盖衔接，热沉结构的顶部设有用于装置晶圆的榜首装置腔，探针板坐落榜首装置腔内，且与PCB板衔接，探针板具有多个探针，多个探针与晶圆触摸。因为晶圆测验夹具结构较多且很杂乱，所以在结构板上设置距离开安置的多个榜首减重槽，相邻两个榜首减重槽之间设有榜首加强筋，与直接开设一个大的减重槽的技能计划比较，即能减轻晶圆测验夹具的分量，又能确保晶圆测验夹具的强度。

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